半导体晶圆制造中产量与生产周期的优化方法

摘要：

在晶圆制造厂中,有时为了提高设备利用率而盲目地增加投料/产出速率,造成生产周期时间增长,在制品增多.本文建立效用函数和多目标决策对其进行优化选择,并且阐述了在晶圆制造厂实际生产中,经济原则对周期时间的影响.

关键词：投料/产出速率、周期时间、效用函数、多目标决策、经济原则

所属期刊栏目：29

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2004-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：41-45