10.3969/j.issn.1003-353X.2004.02.002
低介电常数材料在超大规模集成电路工艺中的应用
本文概述了低介电常数材料(Low k Materials)的特点、分类及其在集成电路工艺中的应用.指出了应用低介电常数材料的必然性,最后举例说明了低介电常数材料依然是当前集成电路工艺研究的重要课题,并展望了其发展前景.
低介电常数材料、集成电路工艺
29
TN304(半导体技术)
2004-04-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
4-6,45
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10.3969/j.issn.1003-353X.2004.02.002
低介电常数材料、集成电路工艺
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TN304(半导体技术)
2004-04-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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