大直径单晶生长中稳定真空度和优化气流控制的改进措施

摘要：

随着国内大直径直拉单晶技术的发展,一些原先在小直径单晶中并未引起重视的问题,对大直径单晶生长的负面影响日渐显现.大直径单晶对其生长环境有很高的稳定性要求.本文就其中真空度的稳定和气流控制的优化两个方面,提出了改进方案,以提高大直径单晶生长的成晶率和内在品质.

关键词：直拉法、大直径单晶、真空稳定性、气流控制

所属期刊栏目：29

分类号：TN304.053(半导体技术)

在线出版日期：2004-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1-3