微波MEMS移相器的特性分析与实现

摘要：

从移相器的基本原理出发,分别介绍了开关线型、耦合器型和加载线型三种采用微机械加工技术制备而成的微波MEMS移相器的结构特点和工作原理.在此基础上,设计制备了CPW分布式加载线型MEMS移相器,并进行测试和分析,结果表明MEMS移相器较传统的移相器有微型化、低损耗、低成本、宽带等突出优点.

关键词：微电子机械系统、移相器、微波集成电路

所属期刊栏目：28

分类号：TN623;TN454(电子元件、组件)

资助基金：国家重点基础研究发展计划（973计划）;国家自然科学基金;国家自然科学基金;上海市应用材料研究与发展基金

在线出版日期：2003-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：19-23