研究和处理DPA不合格的母体

摘要：

样品的DPA结论为不合格时,样品母体能否使用?正确解决这个问题可使DPA工作为系统可靠性提高发挥更大作用的同时,取得更好的效费比,并为解决好这个问题,进行了认真研究和分析,并辅助以实验.

关键词：破坏性物理分析、样品不合格、母体的处理

所属期刊栏目：28

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2003-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：60-62