10.3969/j.issn.1003-353X.2003.09.013
半导体晶圆制造车间层控制的内容及方法
半导体晶圆制造企业是资本密集、技术密集型产业,晶圆制造厂也是公认生产最为复杂的工厂之.产品更新换代快、市场竞争激烈等特点使得投资者对设备产能和设备利用率高度重视.这已不仅仅是技术问题,而是生产制造过程管理的问题.本文介绍了半导体晶圆制造车间层控制的内容及方法.
车间层控制、投料策略、实时调度
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TN305.97(半导体技术)
2003-12-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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