微机械微波/射频开关的制备和功能测量研究

摘要：

讨论了微机械微波/射频开关的原理、制备工艺和功能测试.微机械接触式微波/射频开关的基本结构是微波共平面波导,在制备工艺中首先考虑的是工艺兼容性,为此选择以PECVD生长的氮化硅为悬臂梁,聚酰亚胺为牺牲层.功能测试表明,该工艺制备的微机械开关的执行电压只有25V,优于同类微机械开关的指标,同时它具有良好的响应特性.

关键词：微机械、微波/射频开关、悬臂梁、共平面波导

所属期刊栏目：27

分类号：TN63(电子元件、组件)

资助基金：国家重点基础研究发展计划（973计划）9810;G1999033105

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：11-14