8英寸线超纯水技术的若干特点

摘要：

应小于等于0.25μm8英寸fab之需,介绍了实际工程的各项优越水质参数和高可靠、易运作等特点.讨论了水的回收技术、总有机碳(TOC)减低技术和安装/配管中的零污染的可能性.

关键词：超纯水、水质、回收、总有机碳、配管

所属期刊栏目：26

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：73-76