10.3969/j.issn.1003-353X.2000.05.009
微波微电子机械开关
介绍了微波微电子机械开关(MEMS开关)的形式、物理特性,分析了其工作原理.文中采用一端固定、一端自由运动的悬臂梁的力学模型,给出了MEMS开关设计的经验公式.最后,对微电子机械开关在MMIC中的发展前景作出了预测.
微电子机械开关、应用
25
TM564(电器)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
27-28,52
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10.3969/j.issn.1003-353X.2000.05.009
微电子机械开关、应用
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TM564(电器)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
27-28,52
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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