微型热致动器研究

摘要：

微致动技术是微型机电系统(MEMS)设计制造的重要技术基础.本论文围绕微型热致动器的研制开发,对热致动方式进行较为深入研究,利用硅微细加工工艺制造出多种微型热致动器,并进行了理论分析和实验测试.

关键词：微型机械、微致动器、热致动、硅微细加工

所属期刊栏目：25

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金59235111

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：14-18