10.3969/j.issn.1003-353X.2000.01.005
微型热致动器研究
微致动技术是微型机电系统(MEMS)设计制造的重要技术基础.本论文围绕微型热致动器的研制开发,对热致动方式进行较为深入研究,利用硅微细加工工艺制造出多种微型热致动器,并进行了理论分析和实验测试.
微型机械、微致动器、热致动、硅微细加工
25
TN305(半导体技术)
国家自然科学基金59235111
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
14-18
点击收藏,不怕下次找不到~
10.3969/j.issn.1003-353X.2000.01.005
微型机械、微致动器、热致动、硅微细加工
25
TN305(半导体技术)
国家自然科学基金59235111
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
14-18
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn