高世代液晶面板生产环境控制与高精度区域的温度控制实例研究

摘要：

本文就高世代液晶显示面板高精密温度控制的机器人区域进行分析与验证,研究控制如何和保证黄光区曝光机机器人区域的温度稳定.

关键词：干盘管、机器人、质量、流量

分类号：TU745.7(建筑施工)

在线出版日期：2016-06-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：50-52