空气放电重复性机理研究进展

摘要：

随着电子科学技术的飞速发展,电子器件特征尺寸越来越小,静电放电(ESD)给电子器件、设备、系统带来的干扰和损坏问题日益严重.空气放电是静电放电的主要形式,影响空气放电过程的因素众多且复杂,导致空气放电的重复性较差.该文介绍了国内外学者对空气放电的研究情况,总结了相关参数如放电时延、放电弧长、趋近速度、空气湿度以及压强等对空气放电重复性的影响机理,并对目前的空气放电重复性研究进展进行了探讨,在此基础上对空气放电重复性机理研究进行了展望.

关键词：静电放电、空气放电、重复性

分类号：TN103;C95;V11

资助基金：国家重点研发计划;北京东方计量测试研究所刘尚合院士专家工作站静电研究基金

在线出版日期：2023-10-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：16-22,41