轴线偏移对微纳力测量结果的影响研究

摘要：

针对在微纳力测量过程中所广泛采用的圆筒状电容结构,采用有限元方法,研究了不同条件下圆筒状电容装置轴线偏移对输出微纳力测量结果的影响.重点分析了当圆筒状电容内外电极相交长度不同时,内电容轴线偏移,输出微纳力的变化情况,并根据研究结果,得到了在利用圆筒状电容装置测量微纳力时,轴线偏移误差对输出微纳力影响较小区间.

关键词：轴线偏移、误差、微纳力、测量结果、圆筒状电容

所属期刊栏目：19

分类号：TG83(公差与技术测量及机械量仪)

资助基金：2018年安徽省教育厅自然科学研究重点项目"微纳量级力学量测量过程中的关键技术研究";2019年安徽省高校自然科学研究重大项目资助"联网技术多重智能防盗系统的研究;其在安徽新能源汽车产业中的应用"

在线出版日期：2020-03-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：27-30