基于组合叶列的涡轮分子泵结构优化与抽气机制研究

摘要：

为了满足涡轮分子泵精准的设计计算和抽速更大的技术要求、弥补传统的单级叶列计算算法的不足,采用真实的动叶列和静叶列组合结构模型,建立组合叶列模拟计算算法,并以对抽速影响较大的前 4 级组合叶列为例,开展涡轮分子泵的结构优化与抽气机制研究.研究发现:优化后的结构参数模型与原结构相比,组合叶列的最大抽速和最大压缩比分别增大了 28.22%和 13.99%;减小气体分子返回入口的概率、增大气体分子与下表面碰撞的概率将有利于改善涡轮分子泵的抽速.该研究从分子运动学角度揭示了涡轮叶列的抽气机理,为涡轮分子泵精准的设计和结构优化提供了新的理论依据和模拟计算算法.

关键词：涡轮分子泵、组合叶列、结构优化、抽气机制

所属期刊栏目：38

分类号：TB752+.27(真空技术)

资助基金：安徽理工大学高层次引进人才科研启动基金资助项目;安徽理工大学高层次引进人才科研启动基金资助项目;安徽省省级教学研究基金资助项目;安徽省高等学校省级质量工程基金资助项目;安徽省高等学校省级质量工程基金资助项目;安徽省高等学校省级质量工程基金资助项目

在线出版日期：2023-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：14-20