电容式微机械加速度计部分力学特性的分析

摘要：

推导了电容式微机械加速度计的悬臂梁在加速度作用下可能出现的两种挠度情况,分析了在制造过程中残余应力对于加速度计造成的影响,推导了电容式微加速度计的工作原理,并推荐了相应的工作模式.

关键词：加速度计、挠度、应力、差动电容

所属期刊栏目：18

分类号：TB125;TP212(工程基础科学)

在线出版日期：2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：57-61