电子束蒸发制备纳米ZnO薄膜及其特性研究

摘要：

用电子柬蒸发制备一系列纳米znO薄膜,用XRD和AFM研究其结构和形貌,重点研究其拉曼谱.ZnO靶的拉曼谱出现了4个明显的峰,与文献报道基本一致.室温下沉积的ZnO薄膜中存在大量缺陷和氧空位,其拉曼频移只有LO模和低频E:模,且其LO模有相对频移,峰展宽,强度加强.ZnO膜的高频拉曼谱对其结构不敏感,各种制备条件下的ZnO膜其高频拉曼谱基本一致.对拉曼谱,结合XRD和AFM分析给出了初步的解释.

关键词：电子束蒸发、X射线衍射、拉曼谱、原子力显微镜

所属期刊栏目：32

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：合肥工业大学校科研和教改项目

在线出版日期：2008-05-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：60-64