掺铝氧化锌ZAO(ZnO:Al)薄膜研究

摘要：

描述ZAO(ZnO:Al)薄膜的晶体结构,论述ZAO薄膜的光学、电学性质与其结构的关系,介绍了掺铝氧化锌ZAO薄膜的各种制备方法,并总结了ZAO薄膜在各种领域中的应用.提出了薄膜材料研究的关键问题以及今后的发展方向.

关键词：掺铝氧化锌、制备、光电性能、应用

所属期刊栏目：31

分类号：O611.62(无机化学)

资助基金：安徽省优秀青年科技基金04044060;安徽省高层次优秀人才研究奖励基金2004Z027

在线出版日期：2007-11-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：82-86