四端硅压力传感器的解析模型

摘要：

利用正则摄动法,采用合理的边界条件,求解四端硅压力传感器二维电势的偏微分方程,得出了该传感器二维电势的解析表达式;并由此导出了随应力而变的最大输出电压的解析表达式,且给出了输出电压与器件尺寸的精确关系.该模型物理意义明确,参数提取方便,其计算结果与数值解、实验数据较好吻合,可以很方便地进行器件设计和模拟.

关键词：四端硅压力传感器、正则摄动、解析表达式

所属期刊栏目：28

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2003AA1Z1400;安徽省自然科学基金01042104

在线出版日期：2004-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：51-55