退火温度对Ag-MgF2 颗粒膜结构和内应力的影响

摘要：

报道用电子薄膜应力分布测试仪测量退火温度对Ag-MgF2复合颗粒薄膜内应力的影响,结果表明,退火温度在400℃,薄膜平均应力最小,应力分布比较均匀.XRD分析表明,Ag-MgF2复合颗粒薄膜的内应力主要来自Ag晶粒的生长过程,当Ag的晶格常数接近块体时(400℃温度退火60分钟),Ag-MgF2薄膜内应力最小.

关键词：Ag-MgF2复合颗粒薄膜、应力、退火温度、微结构

所属期刊栏目：26

分类号：O484.2(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金59972001;安徽省自然科学基金01044901;安徽省教育厅科研项目99JL0024

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：40-45