考虑非均匀掺杂衬底对一维MOST模型的修正

摘要：

为了控制MOST的阈值电压和减小DIBL效应,必须对MOST的沟道进行离子注入.这种非均匀掺杂衬底MOST特性的最常用分析方法是数值模拟,但这种方法计算量大,不能得到解析模型,不适用于电路模拟设计.本文所提出的解析模型与SPICE MOS3模型形式相似,但其所有参数都是数值模拟的解析公式.新模型将数值分析与解析方法结合起来,具有精度高,概念清晰,计算量小等优点,适用于电路分析程序.

关键词：非均匀掺杂衬底、数值模拟、MOST阈值电压、MOST伏安特性

所属期刊栏目：24

分类号：TN402(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金69736020

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：26-34