超精密平面电机关键技术研究

摘要：

随着直驱式直线电机的发展,人们采用两台直线电机垂直叠加实现平面运动.由于在每个运行方向上机械能输出直接作用于负载,简化了机械机构,降低了成本,提高了系统性能,且系统整体相对旋转电机构成的二维运动机构,系统装配简便,但两套直线电机及驱动系统实现二维运动,机构的叠加增加了系统复杂性,且在每个方向的控制方式存在差别;另外,由于两个运动方向不在同一个平面,机械安装的微小误差势必带来较大的运行位置误差,且误差按运行情况不同,累积的程度也有差别,须采用补偿策略、控制方法(如插补算法)或机械方式等进行机构校准;整体控制系统精度由两套直线运动控制系统机械加工及安装精度和控制精度共同决定.如何较好地解决大行程与高精度之间的矛盾,已成为先进制造精密工程领域亟待解决的关键问题.

关键词：平面电机、问题、指标

分类号：TM301.2(电机)

在线出版日期：2020-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：218-219